的应力匹配
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MEMS 传感器中浆料的应力匹配技术
MEMS传感器中浆料应力匹配技术 摘要：随着微电子技术的飞速发展，MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）传感器因其高灵敏度、低功耗和微型化的特点在众多领域得到了广泛应用。浆料作为MEMS传感器的核心材料之一，其应力匹配技术对传感器的性能有着决定性的影响。本文将探讨浆料应力匹配技术的原理、方法及其在MEMS传感器中的应用。 引言 MEMS传感器以其独特的优势
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